Cuando en 1948 los hermanos Varian, Russell, (inventor de Klystron) y Sigurd, fundaron la empresa que llevaba su apellido, la especializaron en el campo de los tubos de electrones de microondas.

Robert Jepsen se unió a la compañía en 1951 y pronto se convirtió en director de la investigación del grupo Klystron. Su investigación sobre el bombeo electrónico de vacío llevó en 1957 a crear la primera bomba iónica, más tarde llamada bomba VacIon, de la que fue coinventor.

La bomba fue desarrollada en un primer momento como un complemento para el mantenimiento de UHV en tubos de electrones de microondas, pero pronto se convirtió en la bomba VacIon, con una velocidad de cientos de litros por segundo.

Lewis Hall y John Helmer eran miembros del equipo de investigación y participaban en la optimización del diseño de la bomba. En 1959 se unió Sherm Rutherford en el departamento control de investigación. Su labor, trabajando para Robert Jepsen, consistió en estudiar el comportamiento de la bomba de iones catódicos (en términos de velocidad de bombeo y descarga), sobre una amplia gama de parámetros, tales como el campo magnético, el voltaje, la célula de ánodo, el diámetro, longitud de la célula anódica y la presión.

Como sabemos hoy en día, el ultra alto vacío tiene cabida en múltiples aplicaciones como la física de alta energía, los aceleradores de partículas o las ciencias materiales. Varian demostró que los sistemas de vacío de acero inoxidable alcanzaban los mismos ratios bajos de desgasificación y que el uso del vidrio no era necesario.

Una de las primeras grandes instalaciones de una bomba de iones catódica, fue el colisionador de hadrones ISR (anillos de almacenamiento de intersección), que tuvo lugar de 1971 a 1984 a cargo del CERN, (Organización Europea para la Investigación Nuclear), en Ginebra.

Actualmente se continúa estudiando y desarrollando nuevas nuevas soluciones de vacío, que han permitido la amplia gama de bombas iónicas que actualmente se ofrece en el mercado.

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