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Cover image by Robert Couse-Baker /
 Hiden Analytical presenta una familia de instrumentos de diagnóstico basados ​​en un espectrómetro de masas cuadrupolar con aplicación específica al proceso de epitaxia de haz molecular y post-proceso de evaluación de película delgada, con características principales destacadas en su nueva hoja de información técnica específica del proceso de MBE.

Las sondas en proceso se construyen específicamente para operar en el entorno de deposición de haces moleculares reactivos, utilizando materiales de construcción de baja reactividad y con un extenso tamizado de superficie. Los instrumentos incluyen uno de los analizadores de gases residuales, el HALO MBE, el monitor de tasa de deposición molecular XBS con aceptación de haz de iones a través de un ángulo de cono de 70o y una herramienta modular de análisis de superficie SIMS con pistola de iones enfocada integrada para la evaluación de la capa superficial en proceso.

El sistema AutoSIMS se ofrece para la medición de la composición de la capa superficial posterior al proceso y para los cambios en la composición del perfil de profundidad a través de profundidades de hasta un micrón. El sistema tiene un soporte de muestras múltiples de estilo cassette intercambiable con una etapa de posicionamiento X-Y automatizada que permite una operación desatendida totalmente automatizada. La pistola de iones de foco fino es compatible tanto con oxígeno como con argón.

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