El estudio llevado a cabo por Anurag Mishra y Geun Young Yeom, muestra que, utilizando una sonda de frecuencia de radio compensada, los efectos de los parámetros tales como presión y cociente de gas en electron energy probability functions (EEPS, por sus siglas en inglés) y en parámetros de descarga, se investigan en descargas de Ar/CF4 producidas en una gran área de frecuecia y antena duales (450 mm), fuente de plasma acoplado inductivamente, (ICP por sus siglas en inglés)

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