XBS System

Las fuentes de haz molecular requieren un control preciso para reproducir el crecimiento de la capa fina con cierta calidad. El sistema XBS (cross beam source), proporciona monitoreo in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real. El XBS se utiliza mucho en espectrometría de masas de haces moleculares, en el monitoreo y control de MBE, en análisis de múltiples fuentes de haz, en análisis de gases residuales, en desorción, desgasificación o en procesos con gases contaminantes.