AutoSIMS

El AutoSIMS es una herramienta SIMS autónoma y automatizada para el análisis de superficies rutinario y repetitivo, ideal para la medición de películas finas, contaminación y dopaje de la monocapa superior a muchos micrones tanto en material conductor como aislante. Aplicaciones Películas delgadas. Modificación de superficies. Revestimientos. Supervisión del producto. Análisis repetitivo. Grandes áreas. Múltiples regiones