EQP

El sistema EQP es un espectrómetro de masas combinado y analizador de energía para el análisis de iones de plasma, neutrales y radicales neutros. El instrumento EQP incluye modos de funcionamiento para ion positivo y análisis de iones negativos. Los modos de ionización de umbral y de ionización de fijación de electrones están disponibles para estudios detallados de radicales neutros, para el análisis de radicales de plasma tanto electro-positivos como electro-negativos. El sistema EQP está ahora disponible con MCS integrado - adquisición de datos escalares multicanal con resolución de tiempo de 50 nano segundos para una rápida adquisición de datos en aplicaciones de plasma pulsado.