Sonda Hiden ESPion

La monitorización de rutina de la característica de plasma I-V por la sonda Hiden ESPion proporciona información directa relacionada con la estabilidad y reproducibilidad del plasma. La extrapolación automática en tiempo real de los parámetros plasmáticos proporciona información detallada sobre las propiedades del plasma para su uso en la caracterización y la monitorización de la uniformidad.

Aplicaciones:

  • Caracterización plasmática.
  • Potencial de plasma.
  • Potencial flotante.
  • Temperatura de electrones.
  • Densidad de iones.
  • Distribución de energía electrónica.
  • Flujo de iones

La nueva sonda electrostática ESPion para la caracterización de plasma atmosférico.

El rendimiento de la sonda de plasma electrostático Hiden ESPion Langmuir-style se amplía aún más con la introducción de una función Bohm Criterion, accesible al usuario dentro del programa operativo de sonda ESPionSoft. Esta nueva funcionalidad permite la compensación de datos para el funcionamiento de la sonda de plasma colisional de baja temperatura a presiones hasta la atmósfera.

El sistema informa automáticamente las características críticas de la distribución de densidad / energía y la temperatura de los electrones, la densidad de iones, el potencial de plasma y el potencial flotante, proporcionando una retroalimentación rápida y precisa, esencial para el análisis y control del proceso basado en plasma.

Los sistemas están diseñados para monitorizar procesos de plasma tanto continuos como pulsados, mientras que los rápidos circuitos de compuerta controlados por software que permiten a ESPion ofrecer análisis temporales segmentados de alta resolución a través de frecuencias de pulso de hasta 3MHz con una resolución de disparo de solo 62.5 nanosegundos.

Las sondas pueden operarse tanto en modo estático como dinámico, con transmisiones de movimiento lineal totalmente compatibles con UHV que ofrecen rangos de recorrido lineales hasta 900 mm.