ESPion

La monitorización de rutina de la característica de plasma I-V por la sonda Hiden ESPion proporciona información directa relacionada con la estabilidad y reproducibilidad del plasma. La extrapolación automática en tiempo real de los parámetros plasmáticos proporciona información detallada sobre las propiedades del plasma para su uso en la caracterización y la monitorización de la uniformidad. Aplicaciones Caracterización plasmática. Potencial de plasma. Potencial flotante. Temperatura de electrones. Densidad de iones. Distribución de energía electrónica. Flujo de iones