HPR-30

El HPR-30 es un analizador de gases residuales configurado para el análisis de gases y vapores en procesos de vacío y para el diagnóstico de vacío, compacto de sobremesa o móvil en carro o rack. El sistema es completamente configurable para aplicaciones de procesos individuales tales como CVD, grabado de plasma, MOCVD, pureza de gas de proceso y monitoreo de contaminantes en proceso. Presión de las muestras desde 1 mbar a 10-4 mbar.
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