XBS

Las fuentes de haz molecular requieren control preciso para reproducir el crecimiento de la película delgada de calidad de producción. El sistema XBS (cross beam source) de Hiden proporciona monitoreo in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real para un control preciso de la deposición. XBS de Hiden es una gran herramienta utilizada en espectrometría de masas de haz molecular. Aplicaciones Monitoreo y control de MBE. Estudios de haz molecular. Análisis de múltiples fuentes de haz. RGA de alto rendimiento. Desorción. Estudios de desgasificación. Ciclos de aseo. Contaminantes del gas de proceso
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