HMT – A dual mode RGA system for vacuum diagnostics and process monitoring

El espectrómetro de masas de cuadrupolo HMT de Hiden Analytical es un sistema RGA que incorpora un modo dual único, capaz de operar a presiones de hasta 5 × 10-3 mbar sin necesidad de bombeo diferencial.

La operación a esta presión se logra utilizando una combinación de una fuente de iones / filtro cuadrupolo especialmente diseñada y un software que corrige la no linealidad de la abundancia. La exclusiva especificación de alta presión hace que el HMT sea ideal para aplicaciones de monitorización de procesos.

 

Descripción

Hiden Analytical logo

Sistema para el análisis de gases para procesos en alta presión.

El HMT es para el análisis del proceso de vacío y el análisis de gas residual y es vital para las verificaciones de las condiciones de funcionamiento del proceso y el análisis del proceso para detectar contaminantes inesperados.

El sistema HMT también puede operar en modo RGA, de la misma manera que un RGA cuadrupolo tradicional. Los detectores duales de Faraday / multiplicadores de electrones proporcionan sensibilidades de presión parciales en el rango de 10-13 mbar. Los procesos típicos que se pueden monitorear incluyen CVD, grabado, PECVD y PVD. Una herramienta de proceso RGA para la resolución de problemas y el seguimiento.

 

Características

  • Modo HMT para operaciones de alta presión a 5 x 10-3 mbar (presión parcial mínima detectable 5×10-8 mbar).
  • Modo RGA para una alta sensibilidad oprando a P < 10-4 mbar (presión parcial mínima detectable 2 x 10 -11 mbar).
  • Rango de 100 amu, interfaz de control remoto (PC) a través del software MASsoft (menos de ± 1% de variación de altura durante 24 h).
  • Control del software MASsoft a través de RS232, USB o sistemas múltiples a través de Ethernet LAN.
  • Acceso rápido, escaneo en modo mixto en múltiples ventanas.
  • Display simultáneo para el análisis tiempo real de gráficos y tendencias tubulares.
  • Cursor para la identificación de la altura del pico bajo el control del ratón.
  • Resto de fondo en tiempo real, alineación automática de la escala de masa.
  • Instalación de exportación de datos a formato ASCII y a todos los dispositivos Windows.
  • Instalación de intercambio dinámico de datos para la transferencia de datos en tiempo real a otras aplicaciones de Windows ™ compatibles con el cliente DDE, por ejemplo: Excel, SPC-IV software de control de proceso estadístico.

Aplicaciones

  • Procesamiento de vacío.
  • Residual gas analysis.
  • Recubrimiento óptico de películas delgadas.
  • CVD/MOCVD/ALCVD.

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