AutoSIMS automatic surface analysis system

AutoSIMS de Hiden Analytical es una herramienta compacta para el análisis rutinario y automático de superficies.

Resulta idóneo para la medición de películas delgadas, la contaminación desde la monocapa superior, hasta micrones en materiales conductores o aislantes.

Descripción

Hiden Analytical logo

AutoSIMS – Sistema automatizado de análisis de superficies.

Las muestras se cargan a través de un soporte de cassette modular y se colocan utilizando la etapa de alta precisión controlada por ordenador.

El cañón de iones y las recetas de análisis ejecutan la herramienta de forma automática, informando de los resultados en hojas de cálculo u otro formato personalizado.

El cañón de iones de oxígeno de larga duración proporciona un haz estable durante todo el día y la noche, ofreciendo espectros de superficie y perfiles de profundidad 3D.

Si bien la herramienta está diseñada para poder ser ejecutada por técnicos no necesariamente especializados, la gama completa de parámetros SIMS está disponible para usuarios avanzados; el AutoSIMS es idóneo como herramienta de investigación, proporcionando una resolución de profundidad y unas características inigualables por su precio.

Características

  • Totalmente automatizado, perfecto para análisis SIMS.
  • Etapa de muestra grande de X-Y.
  • Cañón de iones de oxígeno para análisis sensibles.
  • Portamuestras estilo cassette personalizable.
  • Los parámetros se pueden especificar a través de la hoja de cálculo.
  • Caracterización 3D.
  • Resolución de la profundidad del nanómetro.
  • Servicio modular para alta disponibilidad.

Aplicaciones

  • Películas finas.
  • Modificación de superficies.
  • Revestimientos.
  • Monitorización de productos.
  • Análisis repetitivos.
  • Áreas amplias.
  • Múltiples regiones.
  • CVD / MOCVD / ALD.

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