ESPion Langmuir probe for plasma diagnostics

La monitorización rutinaria de las características del plasma I-V mediante la sonda ESPion de Hiden Analytical permite obtener información directa relacionada con la estabilidad y reproducibilidad del plasma.

La extrapolación automática de los parámetros del plasma en tiempo real proporciona información detallada sobre las propiedades del plasma para su uso en la caracterización y monitorización de su uniformidad.

Descripción

Hiden Analytical logo

ESPion – Sonda Langmuir para la caracterización de plasmas.

El sistea ESPion emplea Orbital Motion Limited (OML) y Allen Boyd Reynolds (ABR) como modelos estándar de análisis de plasma.

La unidad Z automática de Hiden proporciona mediciones de resolución espacial en todo el volumen de plasma. Las opciones de conversión estándar de Z-drive son: 30, 600 y 900 mm.

Características

  • Velocidad de adquisición de 15 exploraciones por segundo con interfaz D-O-E para análisis automáticos, semiautomáticos o manuales.
  • Hiden es pionero en la compensación de RF pasiva.
  • Hiden tiene la resistencia al bloqueo más alta del mercado.
  • 4,25 Mhm a 13,56 MHz cf. 100 kOhm.
  • Cadena multiinductor enfriada por gas para operar con plasma a alta temperatura.
  • La cadena de inductor múltiple enfriada por gas es reemplazable por el usuario para sintonizar otras frecuencias.
  • La sonda de referencia compensa los efectos de baja frecuencia.
  • Cambio en el potencial de plasma (por ejemplo, pareces anodizadas de la cñamara) o ruido (por ejemplo, fuente de alimentación).
  • ESPion ofrece las especificaciones de plasma pulsado más rápidas que cualquier otra sonda.
  • ESPionSoft contiene todos los circuitos de activación necesarios como estándar.
  • Opciones de accionamiento lineales automáticas de 300, 600 o 915 mm.
  • Válvula de aislamiento de interbloqueada, sondas de 90º, opciones combinadas de accionamientos rotativos lineales disponibles.
  • Ciclo de autolimpieza para limitar la contaminación de la punta de la sonda.
  • Control ESPionSoft a través de RS232, RS485 o Ethernet LAN.

Aplicaciones

  • Caracterización de plasma.
  • Potencial de plasma.
  • Potencial flotante.
  • Temperatura de electrones.
  • Densidad de iones.
  • Distribución de energía de electrones.
  • Flujo de iones.

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