HALO 201 MBE – For molecular beam epitaxy applications

El sistema HAL 201 MBE de Hiden Analytical está diseñado específicamente para el análisis de gases residuales en aplicaciones de epitaxia de haces moleculares.

Descripción

Hiden Analytical logo

HALO 201 RC – Analizador de gases específico para Molecular Beam Epitaxy (MBE)

Los sistemas HALO de Hiden están diseñados para aplicaciones RGA que incluyen detecciones de fugas, análisis de especies en función del tiempo y trazas de gases en vacío.

Construido con materiales compatibles para un uso prolongado en aplicaciones de MBE. Incluye de serie cableado de molibdeno en lugar de cobre y una cubierta de fuente de iones resistente a la contaminación.

Características

  • Cableado de molibdeno, en lugar de cobre para mejorar la vida útil del sistema RGA en entornos MBE.
  • Cubierta de fuente de iones resistente a la contaminación.
  • Dual Faraday /channelplate: multiplicador de iones.
  • Presión parcial mínima detectable hasta 2 x 10-13 mbar.
  • Opción de extensor térmico para operación RGA durante el horneado.

Aplicaciones

  • Producción de semiconductores.
  • Pilas de combustible.

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