IG20 – 5KeV Argon or Oxygen SIMS primary ion source for UHV surface analysis

El IG20 de Hiden Analytical es un cañón iónico de argón u oxígeno de 5KeV como fuente de iones para análisis de superficies en UHV.

Proporciona una fuente de iones de gas de impacto electrónico con alto brillo, específicamente diseñado para la capacidad del oxígeno, pero también adecuado para su uso con gases inertes, entre otros.

Descripción

Hiden Analytical logo

IG5C – Cañón iónico de oxígeno o argón de 5KeV como fuente de iones para análisis de superficies en UHV.

Está diseñado como haz de iones primario para aplicaciones SIMS, Auger y XPS para imágenes y perfiles de profundidad.

Su capacidad de escaneo y su ámplia gama de parámetros operativos lo hacen adecuado para la limpieza de muestras y experimentos científicos de superficies.

Dispone de dos filamentos intercambiables que garantizan un funcionamiento continuo. Así, en el caso de que un filamento se funda, podrá ser cambiado por el usuario.

Características

  • Haz de iones intenso con un tamaño de punto de 100 µm  y energía de 0,5 a 5 keV.
  • Alta densidad de corriente, hasta 4,5 mA/cm2
  • Fuente de iones de impacto electrónico con capacidad de argón y oxígeno.
  • Óptica de dirección para dispersión de línea y rasterización de haz en perfilado en profundidad.
  • Instalación de supresión de haz para un intercambio rápido en aplicaciones de rasterizado.
  • Bombeo diferencial de fuente para carga de gas de cámara reducida.
  • Conjunto de filamento doble fácilmente remplazable.
  • Tasas de barrido de hasta 64 µs.
  • Operación integrada con sondas SIM y EQS para control de área /raster y raster directo.

Aplicaciones

  • Análisis de superfies.
  • Películas finas e ingeniería de superficies.
  • Ciencia de superficies.
  • Nanotecnología.
  • Espectroscopia electrónica.
  • Parpadeo del haz de iones.
  • Perfilado de profundidad de rasterización.

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