HPR-30 Process and residual gas analysis

El analizador de gases residuales HPR-30 de Hiden Analytical ha sido especialmente diseñado para el análisis de gases y vapores en procesos de vacío y diagnóstico del mismo.

El sistema es totalmente configurable para aplicaciones de procesos individuales, como CVD, grabado con plasma, MOCVD, pureza del gas y monitorización de contaminantes.

Descripción

Hiden Analytical logo

HPR-30 – Análisis de trazas y gases de proceso.

Las opciones incluyen el innnovador sistema de cruadrupolo de triple filtro de la serie Hiden 3F, que proporciona una mayor sensibilidad de abundancia, niveles de detección de partes por billón (ppb) y una alta resistencia a la contaminación.

Especialmente adecuado para el análisis de gases agresivos en aplicaciones CVD y RIE.

Características

  • Espectrómetro de masas de triple filtro.
  • Opciones de rango de masa de 200, 300, 500 o 1000 amu.
  • Sensibilidad de abundancia mejorada.
  • Detección a 5 ppb.
  • Modo de ionización suave APSI-MS.

Aplicaciones

  • HMT.
  • PSM.

Valoraciones

No hay valoraciones aún.

Solo los usuarios registrados que hayan comprado este producto pueden hacer una valoración.