PSM Plasma sampling mass spectrometer

El PSM de Hiden Analytical constituye un espectrómetro de masas para análisis de plasmas.

Las sondas de plasma de Hiden miden algunos de los parámetros clave del plasma y proporcionan información detallada, relacionada con la química de la reacción del plasma.

Descripción

Hiden Analytical logo

PSM – Espectrómetro de masas para análisis de plasmas.

Una amplia gama de procesos industriales utilizan plasmas eléctricos.

En la industria de la microelectrónica, la demanda de mayor rendimiento, así como la reducción de las geometrías de los dispositivos hacen que la reproducibilidad y comprensión del proceso sean vitales.

La comprensión detallada de la cinética de reacción de los iones de plasma y las especies neutrales desempeña, así un papel clave en el desarollo de procesos avanzados de ingeniería de superficies HIPIMS.

 

Características

  • Óptica de extracción de iones controlada por software para una perturbación mínima del plasma.
  • Analizador del sector electrostático a 45º, Scan Energy a incrementos de 0,05 eV/0,25eV FWHM.
  • Perturbación mínima de la trayectoria de vuelo iónico y la transmisión constante de iones en todas las energías.
  • Triple filtro de bombeo diferencial.
  • Cuadrupolo, opciones de rango de masa a 5000 amu.
  • Detector de recuento de iones de impulsos de alta sensibilidad/estabilidad con rango dinámico de 7 décadas.
  • Ionizador integral ajustable para potencial de apariencia MS con opción de acoplamiento de electrones Penning Gauge y enclaves para proporcionar protección contra la sobrepresión. Selección de señal y opción de activación de señal programable para estudios de resolución temporal en plasma pulsado.
  • Opción de 1000eV, opción flotante hasta 10keV, copa Faraday para plasmas de alta densidad.
  • Mu-Metal, opciones de blindaje radio-metal, opción de operación a alta presión.
  • Control Massoft a través de RS232, RS485 O Ethernet LAN.

Aplicaciones

  • Análisis de iones y radicales.
  • Etching/deposition studies.
  • ablación láser.
  • Análisis de gases resiguales (RGA).
  • Detección de fugas.
  • Acoplamiento de electrodo de plasma.

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