XBS – MBE deposition flux rate monitor

El XBS de Hiden Analytical es un sistema para la motitorización de múltiples fuentes en aplicaciones de deposición de MBE.

El sistema XBS (fuente de haz cruzado) de Hiden proporciona una monitorización in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real para un control preciso de la deposición.

XBS de Hiden es una gran herramienta utilizada en la espectrometría de masas de haz molecular.

 

Descripción

Hiden Analytical logo

XBS – Monitorización del flujo de deposición en MBE.

Las fuentes de haz molecular requieren un control preciso para el crecimiento de una película delgada de calidad y reproducible.

La alta sensibilidad y la rápida adquisición de datos del sistema XBS permiten obtener señales para controlar las tasas de crecimiento de 0,01 Angstrom por segundo.

Características

  • Alta sensibilidad, detección mejorada de 100% a 5 ppb, rango de masa a 510 amu.
  • Estabilidad mejorada a largo plazo (menos de ± 0.5% de variación de altura durante 24 h).
  • Fuente de iones de viga transversal, aceptación del has a través de +/- 35 ° con respecto al eje transversal.
  • Control de la fuente de iones para la ionización suave y la apariencia de la espectrometría de masas.
  • Sensibilidad mejorada para una alta transmisión de masa, alineación automática de la escala de masa.
  • Abertura de aceptación de haz de 2 mm: configurada para aplicaciones de usuario específicas.
  • Resistencia a la contaminación mejorada a través de la etapa de prefiltro.
  • Cubierta integral compatible con UHV refrigerada por agua.
  • Límites de detección hasta 30 iones/segundo en estudios de haz molecular.
  • Monitorización de tasas de crecimiento de 1Å / minuto y menores.
  • Control MASsoft basado en Windows ™ a través de RS232, USB o Ethernet LAN.

Aplicaciones

  • Monitorización y control de MBE.
  • Estudios de haces moleculares.
  • Análisis de fuentes de haz múltiple.
  • Alto rendimiento RGA.
  • Desorción.
  • Estudios de desgasificación.
  • Ciclos de horneado.
  • Procesos contaminantes del gas.

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