XBS – Cross Beam Source: system for multiple source monitoring in MBE deposition applications

Las fuentes de haz molecular requieren un control preciso para el crecimiento de una película delgada de calidad y reproducible.

XBS (cross beam source – o fuente de haz cruzado) de Hiden Analytical es la herramienta más potente para espectrometría de masas de haz molecular.

 

 

Descripción

Hiden Analytical logo

XBS – Monitorización de haces moleculares en systemas de deposición MBE.

Proporcionan una monitorización in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real, para un control preciso de la deposición.

Características

  • Alta sensibilidad y rápida adquisición de datos. Señales para controlar las tasas de crecimiento de 0,01 Angstrom por segundo.
  • Detección mejorada de 100% a 5 ppb, rango de masa de 1 a 510 amu.
  • Estabilidad mejorada a largo plazo (menos de ± 0.5% de variación de altura durante 24 h).
  • Crossbeam ion source con una aceptación del haz a través de +/- 35 ° con respecto al eje transversal.
  • Control de la fuente de iones para la ionización suave y la apariencia de la espectrometría de masas.
  • Sensibilidad mejorada para alta transmisión de masa, alineación automática de la escala de masa.
  • Abertura de aceptación de haz de 2 mm: configurada para aplicaciones de usuario específicas.
  • Resistencia a la contaminación mejorada a través de la etapa de prefiltro RF.
  • Cubierta integral compatible con UHV regrigerada por agua.
  • Límites de detección de hasta 30 iones/segundo en estudios de haz molecular.
  • Monitorización de tasas de crecimiento de 1Å / minuto y menores.
  • Control MASsoft basado en Windows ™ a través de RS232, USB o Ethernet LAN.

Aplicaciones

  • Monitorización y control de MBE.
  • Estudios de haces moleculares.
  • Análisis de fuentes de haz múltiple.
  • RGA de alto rendimiento.
  • Desorción.
  • Estudios de desgasificación.
  • Ciclos de horneado.
  • Procesos contaminantes de gas.

 

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